11月08日-10日，第四屆亞太碳化硅及相關(guān)材料國際會議（APCSCRM 2023）于中國首都-北京盛大召開。中科匯珠副總經(jīng)理、首席技術(shù)官楊軍偉受邀出席本次大會，并作主旨演講：液相法襯底的外延生長研究，旨在闡明液相法技術(shù)的先進(jìn)性、可靠性及穩(wěn)定性。演講圍繞液相法SiC襯底的外延技術(shù)研發(fā)展開，介紹了液相法生長碳化硅晶體的優(yōu)勢，包括能有效提高晶體質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本，并能解決PVT法碳化硅p型摻雜襯底電阻率大及無法獲得3C-SiC單晶的產(chǎn)業(yè)化難題。液相法SiC單晶材料可大幅度提高器件產(chǎn)品良率，對推動(dòng)寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義。演講重點(diǎn)介紹了中科匯珠近期在基于液相法單晶襯底上的外延技術(shù)開發(fā)成果，為后續(xù)公司P型和3C-SiC外延片的批量出貨以及下游器件的制備與應(yīng)用夯實(shí)了基礎(chǔ)。
楊軍偉：液相法襯底的外延生長研究
本次大會以“開放聯(lián)通，共筑未來”為主題，會議聚焦寬禁帶半導(dǎo)體相關(guān)材料及器件多學(xué)科主題，邀請全球60余位知名專家學(xué)者、企業(yè)領(lǐng)袖、資本機(jī)構(gòu)，通過大會報(bào)告、專場報(bào)告、高峰論壇、口頭報(bào)告、項(xiàng)目路演和墻報(bào)等形式，分享全球?qū)捊麕О雽?dǎo)體技術(shù)最新研究進(jìn)展，交換產(chǎn)業(yè)前瞻性觀點(diǎn)，展示企業(yè)先進(jìn)成果，促進(jìn)行業(yè)互聯(lián)互通。楊軍偉分享了半導(dǎo)體關(guān)鍵材料實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代進(jìn)程中碳化硅外延的技術(shù)革新，呼吁行業(yè)協(xié)同開放聯(lián)通，持續(xù)開拓市場應(yīng)用，打開行業(yè)增量市場，推動(dòng)碳化硅產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展，共筑半導(dǎo)體行業(yè)美好未來。
亞太碳化硅及相關(guān)材料國際會議（APCSCRM）自2018年在中國北京舉辦首屆會議以來，目前已經(jīng)成功舉辦三屆，每屆會議均吸引來自歐美日等十余個(gè)國家或地區(qū)的權(quán)威代表參加，歷屆出席人數(shù)累計(jì)超過2000人次，共發(fā)表近200個(gè)報(bào)告分享，吸引700余家企業(yè)參與，現(xiàn)已成為亞太地區(qū)寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與學(xué)術(shù)并重的高水平論壇，得到了社會各界的廣泛認(rèn)可和支持，帶動(dòng)了亞太地區(qū)碳化硅等寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與學(xué)術(shù)的強(qiáng)勢發(fā)展，加快了產(chǎn)業(yè)內(nèi)跨界融合創(chuàng)新與協(xié)同驅(qū)動(dòng)發(fā)展的進(jìn)程。
